1、真空泵本身漏氣：

　　  1)密封圈漏氣。應檢查所有密封部位的密封情況，更換破損的密封圈，

　　  2)氣鎮閥墊圈損壞：或未擰緊。應更換墊圈并擰緊氣鎮閥；

　　  3)排氣閥片損壞，密封不好。應更換氣閥片；

　　  4)真空泵中隔板壓入時過盈量太大，造成真空泵腔變形而漏氣。應修整真空泵腔或更換，

      5)由于真空泵的端面油密封不良造成漏氣。應拆開端蓋，檢查是否有雜物或不平整，并進行清洗或修理。

　　2、真空泵油有問題，

　　  1)油位過低。應加足油量到油標中心線，

　　  2)油被沾污，油質變壞。應更換新油，

　　  3)油的牌號不符。應換規定牌號的真空泵油，

　　  4)油路不通，真空泵腔內沒有保持適當的油量。應檢查油路及油閥的進油量，保持油路暢通。

　　3、進氣口的過濾網被堵塞。應取下過濾網清洗干凈，再裝上去，

　　4、轉子的彈簧變形或折斷及旋片動作不靈。應整修或更換彈簧變形，使轉子積旋片配合良好，

　　5、真空泵溫太高，

　　  1)被抽氣體溫度過高。應讓氣體冷卻后再進入真空泵內，

　　  2)吸入硬物使真空泵體磨損。應拆開真空泵除去硬物，對劃傷部件進行修復或更換，

　　  3)真空泵冷卻水流不夠。應加大冷卻水流量，

　　  4)裝配不當，使轉子軸心位移，造成單面磨損。應拆開檢查并重新裝配。

　　6、因加工不良或磨損造成配合間隙過大。應檢查真空泵腔、轉子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，投規定的精度要求進行修復或更換。

　　7、真空泵運轉中摩擦發熱)溫升太高，使真空泵油變稀，密封性變差。應通冷卻水或用電風扇降溫，同時，檢查有關部件配合間隙并按規定精度要求進行修理或更換。

　　真空泵真空度的調節：

　　很多微型真空泵的本身是沒調節真空度的功能的，只有通過加閥門的方式調節。比如在泵的抽氣端串一個精密泄壓閥，當真空度較高時，把閥門打開，真空度就降下來了。這種精泄壓閥還有有定向排放有毒的氣體等，到容器的通道，這是很多閥門沒有的功能。可以用智能真空泵，泵的上面有按鈕，可以設定負壓，還有液晶面板顯示負壓。另外還有一個旋鈕，可以調節流量的大、小。這種智能真空泵又稱交流電真空泵，數顯真空泵。