—個理想的真空系統(tǒng)或真空容器，應當是不存在任何漏孔，不產(chǎn)生任何漏氣現(xiàn)象的。但是任何真空系統(tǒng)或真空容器來說不漏的現(xiàn)象是不可能的。特別是在壓力極低的情況下，隨漏氣現(xiàn)象的影響不斷加劇，真空度達不到預定的工藝要求，是一個相當普遍的問題。為此檢測真空系統(tǒng)或真空容器存在的漏氣部位、確定漏孔的堵塞漏孔從而消除 漏氣現(xiàn)象，就成為真空技術(shù)工作者的一項重要工作。所謂漏氣或稱實漏、它是指氣體通過真空系統(tǒng)上的漏孔或間隙，從側(cè)流向低壓側(cè)的一種現(xiàn)象。真空檢漏技術(shù)中常用基本概念主要有如下各點。
①虛漏是相對于實漏而言的一種物理現(xiàn)象。這大都是由于材料的放氣、解吸、凝體或系統(tǒng)內(nèi)存在死空間中氣體的流出等原因而引起真空系統(tǒng)或容器中壓力升高的一種現(xiàn)象，真空檢漏作業(yè)時要排除虛漏的影響。
②氣密性-它是表征真空系統(tǒng)或容器的壁對空氣不可滲透程度的一種性能。
③漏孔-漏孔是指真空器存在的形狀不定、極其微小的孔洞或間陳。大過這種小孔或間隙進人真空系統(tǒng)或容器中。
④漏率-漏率即漏氣速率。它是指單位時間內(nèi)通過漏孔或間隙流人到真空系統(tǒng)或容器內(nèi)的氣體量。
⑤zui小可檢漏率它是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的zui小漏率。
⑥檢漏靈敏度或稱有效靈敏度，即檢漏儀器 在*工作狀態(tài)下能檢測出的zui小漏率。
⑦反應時間又稱響應時間，它是指從檢漏方法開始實施（如開始噴射示漏氣體）到指示方法或儀器指示值上升到其zui大值的63%時所需要的時間.
⑧消除時間它是指從檢漏方法停止（如停止 噴吹試漏氣體）到指示方法或儀器指示值下降到停止值的37%時所箝要的時間，
⑨漏孔堵塞現(xiàn)象它是指由塵埃或液體所造成 的漏孔堵塞，這些堵塞常常是指由于檢漏作業(yè)搡作不當而導致發(fā)生的一種暫時現(xiàn)象，檢漏時似乎不漏氣, 但一經(jīng)排氣又會出現(xiàn)漏氣的一種現(xiàn)象。
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