羅茨螺桿真空機組組配用的前級泵，采用進口等螺距螺桿真空泵。主要表現在振動小、噪聲低、抽氣效率高、高壓運轉時可靠信好等。由于上述真空泵的諸多優點，從而保證了機組具有良好的抽氣效率。
 

　　羅茨螺桿真空機組是由常規羅茨泵與干式螺桿泵串聯組成，同時配有管路、閥門、機架及電器控制箱等，當前級干式螺桿泵工作后，由真空規頭及真空繼電器來控制羅茨泵的起動。由于羅茨泵與螺桿泵轉動部件都是不接觸件，因此機組具備運轉平穩、噪音低、振動小，結構緊湊、占地面積小等優點。
 

　　羅茨螺桿真空機組因節能效果明顯，高真空區抽氣量大，真空度高 , 是電工、電子、 鍍膜、冶煉、熱處理、干燥、蒸餾、制藥、化工、軍工、航天等行業理想的抽氣設備。特別適用于要求無油蒸汽污染的半導體行業，同時也適用于含有大量水蒸汽及少量粉塵的抽氣場合。
 

　　羅茨螺桿真空機組產品特點主要表現在振動小、噪聲低、抽氣效率高、高壓運轉時可靠信好等。由于上述真空泵的諸多優點，從而保證了機組具有良好的抽氣效率。
 

　　目前機組上采用的羅茨泵為普通ZJ型或ZJP型羅茨泵，由于ZJ型或ZJP型羅茨泵必須在真空系統被前級泵抽到羅茨泵的允許起動壓力后才可起動羅茨泵工作。因此，一般在機組進氣口處須安裝電接點壓力表，通過電接點壓力表可控制羅茨泵的啟動和停機。即當前級VPS螺桿泵起動后開始對系統進行預抽,當系統壓力(即羅茨泵進氣口處壓力)達到允許羅茨泵啟動的設定壓力(即電接點壓力表綠針所指壓力值)時，羅茨泵就可起動工作。如果在機組各泵已處于正常工作情況下，由于發生特殊情況當羅茨泵進氣口壓力高于電接點壓力表上綠針所指值時，羅茨泵立即會自動停機，這樣就可實現羅茨泵的自動過載保護，從而可以避免機組出現過載和過熱而導致機組發生故障。